飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）
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项目简介
辉光放电光谱
1.测量时显示时间-强度曲线，是客观的，客观体现随溅射时间的增加元素强度的变化；
2.测量后根据校准曲线拟合转换成深度-百分含量曲线；
3.本数据用ORIGIN直接导入即可，出现很多纵坐标，Y轴即为对应元素，选择需要的元素作图即可（数据中可能出现“Fi”的数据列为仪器参数请忽略）
辉光放电质谱：
可得到元素半定量数据。
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