折射仪
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项目简介
a. n（折射率）, k（消光系数）值
b. 膜厚 常规椭偏仪的光谱测试范围370到1000nm，
其他范围请咨询项目经理，膜厚的测试范围是0.5nm-10um。
配套服务
常见问题
1. 关于测试光谱范围的选择？
椭偏仪的光谱范围在深紫外的142nm到红外33um可选。光谱范围的选择取决于被测材料的属性、薄膜厚度及关心的光谱段等因素。例如，掺杂浓度对材料红外光学属性有很大的影响，因此需要能测量红外波段的椭偏仪；薄膜的厚度测量需要光能穿透这薄膜，到达基底，然后并被探测器检测到，因此需要选用该待测材料透明或部分透明的光谱段；对于厚的薄膜选取长波长更有利于测量。
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