XPS项目简介：
服务内容：
XPS测试+分析一体化服务，以终为始，根据样品信息和分析目的综合开发测试方法，从更专业的角度给到更加符合样品实际情况的分析报告。报告内容包括测试参数、测试方法、分析方法简介、分析结果和扩展资料。
技术简介：
X射线光电子能谱仪 （简称XPS）是一种常规的表面成分分析技术，可以表征材料表面的成分组成及各成分的化学价态，并可定量表征每种成分的相对含量。XPS采用激发源-X射线入射样品的表面，（常用的X-射线源是Al-Kα单色化X射线源，能量为1486.6eV，）探测从样品表面出射的光电子的能量分布，其原理基于爱因斯坦的光电发射理论。由于X射线的能量较高，所以得到的主要是原子内壳层轨道上电离出来的电子。由于光电子携带样品的特征信息（元素信息、化学态信息等），通过测量逃逸电子的动能，就可以表征出样品中的元素组成和化学态信息。因此对于各种材料开发，材料剖析与失效机理的分析和研究具有不可替代的作用。
(1) 固体物理学：键结构、表面电子态、固体的能带结构、合金的构成与分凝、粘附 、迁移与扩散；
(2) 基础化学：元素和分子分析、化学键、分子结构分析、氧化还原、光化学；
(3) 催化科学：元素组成、活性、表面反应、催化剂中毒；
(4) 腐蚀科学：吸附、分凝、气体—表面反应、氧化、钝化；
(5) 材料科学：是研究各种镀层、涂层、包覆层和表面处理层 (钝化层、保护层等) 的最有效手段，广泛应用于金属、高分子、复合材料等材料的表面处理、金属或聚合物的淀积、防腐蚀、抗磨、断裂等方面的分析。
(6) 微电子技术——电子能谱可对材料和工艺过程进行有效的质量控制和分析，注入和扩散分析，因为表面和界面的性质对器件性能有很大影响。
(7) 薄膜研究——如光学膜、磁性膜、超导膜、钝化膜、太阳能电池薄膜等。 研究膜层结构、层间扩散，离子注入等。
XPS-01全谱+精细谱：
说明：XPS是最常用的表面成分分析手段，全谱可以定性定量分析固体样品表面的主要成分。对精细谱数据分析，查找数据库资料，根据测试数据的峰形、结合能等信息再结合样品信息判断元素化学态以及对应的含量比例。
测试条件（根据实际情况调整）
测试方法（根据实际情况调整）
取适量样品压片/裁剪后，贴于样品盘上，将样品放进 Thermo Scientific K-Alpha XPS仪器样品室中，在样品室的压力小于 2.0×10-7mbar 时，将样品送入分析室，光斑大小为 400μm，工作电压 12 kV，灯丝电流 6 mA；全谱扫描通能为 150eV，步长 1eV；窄谱扫描通能为 50 eV，步长 0.1eV。
分析方法
使用相应分析软件对XPS精细谱进行高斯-洛伦兹拟合/多重分裂峰/NLS拟合，参照XPS数据库资料进行峰位归属。
部分分析结果展示
全谱元素分析结果
精细谱分析结果
XPS-02深度剖析：
说明：不同成分（元素和化学态）从表面到深度的纵向分布，可评价扩散、吸附、钝化的程度以及表征多层膜层结构等
测试条件（根据实际情况调整）
全谱扫描
窄谱扫描：窄谱至少进行 5 次循环信号累加（不同元素扫描次数不同）无机样品/陶瓷材料/复合材料，厚度50nm以内
测试方法（根据实际情况调整）
薄膜/块体样品：
裁剪适当大小的样品（一般长宽是 5X5mm）贴于样品盘上，将样品放进 仪器样品室中，在样品室的压力小于 指标值 时，将样品送入分析室，光斑大小为 50-400μm，然后设置其他参数（具体见分析报告）。设置深度剖析程序。
分析方法
使用相应分析软件对XPS精细谱进行高斯-洛伦兹拟合/多重分裂峰/NLS拟合，参照XPS数据库资料进行峰位归属。
部分分析结果展示
XPS-03线扫面扫：
说明：表征不同元素和化学态在分析区域的分布情况，从而判定成分分布的均匀性以及特定区域的成分组成等；通过对特定区域不同元素进行采集信息，分析不同位置的能谱图确定不同价态的分布情况。
通过回溯成谱，对某一个mapping位置进行谱图重现，可以分析图中任意位置和扫描范围内的谱图。
测试条件（根据实际情况调整）
测试方法（根据实际情况调整）
裁剪适当大小的样品（一般长宽是 5X5mm）贴于样品盘上，将样品放进 仪器样品室中，在样品室的压力小于 一定值时，将样品送入分析室，光斑大小为 50-400μm，然后再设置其他测试参数。设置线扫/mapping测试程序。
分析方法
使用相应分析软件对XPS精细谱进行高斯-洛伦兹拟合/多重分裂峰/NLS拟合，参照XPS数据库资料进行峰位归属。
部分分析结果
