原位XPS
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项目简介
XPS数据分析可以对全谱进行定性定量分析；精细谱定量分析，以及标注拟合元素的化学态、峰位置和含量；此外，XPS数据分析还可以做ARXPS线扫、面扫、深度剖析等特殊数据的分析。
使用的软件有Casa，Multipak和Avantage，主要分析方法是查找资料，根据数据的峰形、结合能等信息判断元素组成，化学态，价态等。
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